Пивоваренок С.А.

ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ПЛАЗМЫ СМЕСЕЙ ХЛОРОВОДОРОД - АРГОН, - ХЛОР, - ВОДОРОД С АРСЕНИДОМ ГАЛЛИЯ

Проведено исследование плазмохимического травления GaAs в смесях
HCl-Ar, HCl-Cl2 и HCl-H2 в условиях тлеющего разряда
постоянного тока. Показано, что скорость травления GaAs при разбавлении HCl
аргоном и водородом уменьшается быстрее, чем концентрация атомов хлора. В
смесях HCl-Cl2 скорость травления проходит через максимум при
содержании хлора порядка 75%. На возрастающем участке кривой скорость травления
пропорциональна потоку атомов хлора, а после прохождения максимума лимитирующей

2014, Т. 57, № 8, Стр. 44-47

ВЛИЯНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ НА СКОРОСТЬ ТРАВЛЕНИЯ И КАЧЕСТВО ПОВЕРХНОСТИ GaAs ПРИ ОБРАБОТКЕ В ПЛАЗМЕ HCl-Ar, HCl-Cl2, HCl-H2

Проведено исследование влияния температуры на скорость травления
GaAs в смесях HCl/Ar, HCl/H2, HCl/Cl2. Найдены
эффективные энергии активации процесса травления в смесях HCl/Ar, HCl/H2,
HCl/Cl2. Значения энергий активации для всех газовых сред характерны
для реакций, лимитируемых адсорбционно-десорбционными процессами на поверхности
материала. Показано, что оптимальное сочетание скорости травления и
шероховатости поверхности достигается в смеси HCl/Ar. В смесях с H2

2014, Т. 57, № 7, Стр. 50-55

ИНТЕНСИВНОСТИ ИЗЛУЧЕНИЯ И КОНЦЕНТРАЦИИ НЕЙТРАЛЬНЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА ПОСТОЯННОГО ТОКА В СМЕСЯХ HClH2 И HClO2

Проведено исследование влияния водорода и кислорода на спектральные
характеристики и состав нейтральной компоненты в плазме хлористого водорода в
условиях тлеющего разряда постоянного тока. Посредством математического
моделирования получены коэффициенты скорости возбуждения всех излучающих
фрагментов и концентрации электронов при различных составах смесей хлористого
водорода с водородом и кислородом.

2013, Т. 56, № 8, Стр. 41-44

ИНТЕНСИВНОСТИ ИЗЛУЧЕНИЯ И КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА В СМЕСЯХ ...

ИНТЕНСИВНОСТИ ИЗЛУЧЕНИЯ И КОНЦЕНТРАЦИИ
АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ ТЛЕЮЩЕГО РАЗРЯДА В СМЕСЯХ ХЛОРИСТОГО ВОДОРОДА С
АРГОНОМ И ГЕЛИЕМ 

Проведено исследование влияния аргона и гелия на интенсивности
излучения линий и полос и концентрации активных частиц в плазме хлористого
водорода в условиях тлеющего разряда постоянного тока. Посредством
математического моделирования произведен расчет коэффициентов скоростей
возбуждения и концентрации электронов.

2013, Т. 56, № 4, Стр. 29-32