120-124

ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ПРИ ФОРМИРОВАНИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК В СИСТЕМЕ P2O5 – SiO2

Золь-гель методом синтезированы тонкие пленки в системе SiO2 – P2O5. Изучены физико-химические процессы в растворе при термической обработке пленок. Определены условия получения пленок разной толщины. Рассчитаны кинетические параметры и проведен сравнительный анализ процессов синтеза SiO2 в тонкой пленке и в объемной фазе.
Ключевые слова: золь-гель метод синтеза, пленки SiO2 – P2O5, кинетические параметры

2010, Т. 53, № 8, Стр. 120-124
RSS-материал