Маслеников И.И.

ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ СИЛОВОЙ СПЕКТРОСКОПИИ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ТОНКИХ ПОКРЫТИЙ

С помощью метода измерительного наноиндентирования были получены
значения твердости и модуля упругости для образцов покрытий алмазоподобного
углерода на кремнии и платины на кремнии. Зависимости механических
характеристик системы от радиуса пятна контакта были обработаны с
использованием различных моделей, и из этих данных были получены значения
твердости и модуля упругости материала покрытий без влияния свойств подложки.
Модуль упругости покрытий был также определен с помощью метода силовой
спектроскопии.

2014, Т. 57, № 6, Стр. 67-70