Семенова О.А.

ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ И КОНЦЕНТРАЦИИ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ СМЕСЕЙ МЕТАНА С АРГОНОМ

Проведено исследование стационарных параметров и состава плазмы
смесей CH4-Ar переменного состава в условиях тлеющего разряда
постоянного тока (p