Кадников Д.В.

ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПРОДУКТОВ ТРАВЛЕНИЯ ПЛЕНКИ ПОЛИЭТИЛЕНА НА ПАРАМЕТРЫ НЕРАВНОВЕСНОЙ ПЛАЗМЫ ВОЗДУХА

Целью данной работы является изучение влияния эффекта загрузки плазмохимиического реактора на кинетику травления полиэтиленовой пленки (ПЭ) и параметров постоянного тока тлеющего разряда в воздухе. Скорость травления увеличивается с ростом тока разряда, линейной скорости потока газа и мало зависит от давления газа при неизменных прочих внешних параметрах.
Ключевые слова: плазма воздуха, эффект загрузки, скорость травления, неравновесная плазма, напряженность электрического поля

2015, Т. 58, № 6, Стр. 49-52
RSS-материал