СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ АЛЮМИНИЯ В ХЛОРЕ

 

Проведено исследование кинетики и механизмов газового (без разряда) и плазменного травления алюминия в хлоре. Показано, что в диапазоне температур 393 - 543 К реализуются два режима травления, различающихся характером температурной зависимости скорости и кинетических кривых и обусловленные изменением типа доминирующего продукта реакции. Установлено, что наблюдаемая кинетика травления как в газовом, так и в плазменном процессах отражает взаимодействие атомов и молекул хлора с  Al2O3.

2008, Т. 51, № 11, Стр. 17-21