ВЛИЯНИЕ ПРИМЕСИ УГЛЕРОДА НА ТЕРМООКИСЛИТЕЛЬНЫЕ ПРОЦЕССЫ В НАНОРАЗМЕРНЫХ ПОРОШКАХ КРЕМНИЯ

Изучены спектроскопические проявления присутствия углерода в порошках НК-Si. Проведен сравнительный анализ влияния углерода на термохимические процессы (отжиг в воздушной атмосфере) в порошках, полученных плазмохимическим и лазерохимическим методами синтеза. Исследованы изменения интенсивности ЭПР сигнала от температуры отжига и от времени экспозиции образцов на воздухе. Установлено, что процессы термоокисления поверхности наночастиц являются сложными и многоканальными. Они связаны с эффектами переноса заряда, с наличием примесных и структурных дефектов.
Ключевые слова: углерод, кремний, наночастицы, термоокисление поверхности, ЭПР

2009, Т. 52, № 10, Стр. 126-131