Гордеев Г.И.

ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СВЧ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ НА ОСНОВЕ ПЛЕНКИ AlN, НАНЕСЕННОЙ НА ПОДЛОЖКУ ...

Технология изготовления СВЧ пьезоэлектрических
преобразователей
на основе пленки AlN,
нанесенной на подложку из синтетического
монокристалла алмаза

2014, Т. 57, № 5, Стр. 17-21
Syndicate content