ИЗМЕРЕНИЕ МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ СВЕРХТВЕРДЫХ АЛМАЗОПОДОБНЫХ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ



Алмазоподобные углеродные пленки активно применяются в качестве
защитных и износостойких покрытий для широкого спектра объектов. Корректное
измерение механических свойств таких пленок без влияния подложки является
актуальной задачей в современных системах контроля качества изделий. В данной
работе приведены результаты измерения твердости алмазоподобных пленок
различными методами для широкого диапазона толщин. Показано, что измеренное
значение не зависит от толщины пленки, то есть получено без влияния подложки.

Ключевые слова: алмазоподобные покрытия, твердость, механические
свойства, наноиндентирование, склерометрия

2011, Т. 54, № 9, Стр. 51-54