ОБРАЗОВАНИЕ ТОНКИХ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ФЕМТОСЕКУНДНОГО ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ В ВАКУУМЕ

Рассмотрено получение тонкопленочных углеродных покрытий методом
лазерной абляции стеклоуглерода в вакууме 10-4 Торр. Показаны
результаты напыления при использовании Yb:KGW лазерной системы, которая имеет
следующие параметры: центральная длина волны излучения 1030 нм, частота
повторения импульсов 10 кГц, длительность импульса 280 фс, энергия в импульсе
150 мкДж и диаметр сфокусированного пятна порядка 50 мкм.

Ключевые слова: лазерная абляция,
ультракороткие лазерные импульсы, наноструктуры, стеклоуглерод, алмазоподобные
пленки

2012, Т. 55, № 6, Стр. 17-19