ИССЛЕДОВАНИЕ ЛОКАЛЬНЫХ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СВОЙСТВ И ФАЗОВЫХ ПЕРЕХОДОВ МЕТОДОМ НАНОИНДЕНТИРОВАНИЯ

Предложена аналитическая модель пластического взаимодействия
токопроводящего индентора с исследуемым образцом. Экспериментальная проверка
модели осуществлена на сканирующем нанотвердомере «НаноСкан» и зондовой
нанолаборатории «ИНТЕГРА», с использованием инденторов из легированного бором монокристалла
алмаза. Показано, что изменение значения тока дает дополнительную информацию о
взаимодействии индентора с материалом. Обсуждается влияние изменений удельного
сопротивления и контактной площади, происходящих при фазовых переходах в кремнии,
на измеряемое значение тока.

Ключевые слова: сканирующая
зондовая микроскопия, наноиндентирование, легированный бором полупроводниковый
алмаз, электрический контакт, сопротивление растекания, пьезорезонансный зонд,
фазовый переход, кремний, механические свойства, электрические свойства

2012, Т. 55, № 6, Стр. 59-62