ЗАВИСИМОСТЬ ЭФФЕКТИВНОСТИ АЛЬТЕРНАТИВНОГО ЖИДКОФАЗНОГО СИЛИЦИРОВАНИЯ УУКМ ОТ ДАВЛЕНИЯ В РЕАКТОРЕ

Изучено жидкофазное силицирование при нагреве нитрида кремния.
Температура его разложения снижается до 1600 – 1650°С при пониженном давлении в
реакторе. В условиях квазизамкнутого объема в опытном реакторе была увеличена
скорость нагрева изделий и нитрида кремния в интервале 1300 – 1650°С. Благодаря
сокращению времени контакта частиц нитрида кремния с углеродсодержащими газами
реакционной зоны были получены гладкие карбидокремниевые покрытия на
тонкостенных деталях из углерод-карбидокремниевого материала. В
крупногабаритном реакторе условия квазизамкнутости не реализуются и качество
карбидных покрытий ухудшается.

Ключевые слова: углерод-углеродных композиционные материалы, нитрид кремния, карбид
кремния, давление, скорость нагрева

2012, Т. 55, № 6, Стр. 67-70