РЕАКТИВНОЕ ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ ПОВЕРХНОСТИ СИНТЕТИЧЕСКОГО МОНОКРИСТАЛЛА АЛМАЗА В ПЛАЗМЕ

Исследовано влияние реактивного ионного травления в плазме Ar/O2
на синтетический HPHT монокристалл алмаза. Показано, что плазменная обработка
может привести к сглаживанию поверхности алмаза. Было достигнуто уменьшение
среднеквадратичной шероховатости с 4,6 до 3,7 нм на базе
10 мкм × 10 мкм. Топография и профили поверхности
исследовались с помощью атомно-силовой микроскопии (АСМ) на различных
пространственных масштабах.

Ключевые слова: реактивное ионное
травление, синтетический алмаз, постмеханическая полировка, атомно-силовая
микроскопия

2012, Т. 55, № 6, Стр. 71-73