ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК ИЗ ВОДНО-СПИРТОВЫХ СМЕСЕЙ

Описан простой, дешевый и безопасный метод получения тонких
углеродных пленок. Возможность получать графеноподобные структуры на
диэлектриках, минуя стадию переноса с поверхности металла, имеет важное
практическое значение. Основной задачей данной работы было исследование влияния
добавок воды на процесс осаждения углерода из паров этанола, а также на
свойства полученных пленок. Изучены оптические и электрические характеристики
материала, получены спектры комбинационного рассеяния. Исходя из представленных
данных, пленки можно рекомендовать для испытания в качестве транзисторов или
сенсоров.

Ключевые слова: углерод, тонкие пленки, газофазный синтез, водно-спиртовые смеси

2013, Т. 56, № 5, Стр. 9-12