ФОРМИРОВАНИЕ РЕЛЬЕФНЫХ СТРУКТУР НА ПОВЕРХНОСТИ МОНОКРИСТАЛЛОВ СИНТЕТИЧЕСКОГО АЛМАЗА МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ

Методом лазерной литографии и реактивного ионного травления на
поверхности монокристаллов синтетического алмаза получены рельефные структуры
высотой до 2 мкм. Определены скорости и селективности травления к алюминию и
хрому в плазмах различного газового состава. Наибольшая скорость реактивного
ионного травления (70 нм/мин) достигнута при использовании плазмы на основе
гексафторида серы, при этом наибольшая селективность травления (14) наблюдалась
к хрому.

Ключевые слова: реактивное ионное травление, синтетический
алмаз, лазерная литография

2013, Т. 56, № 7, Стр. 57-59