ГЛУБОКОЕ РЕАКТИВНОЕ ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ СИНТЕТИЧЕСКОГО АЛМАЗА

Разработано и исследовано глубокое реактивное ионное травление
поверхности синтетического монокристаллического алмаза в двухступенчатом
процессе травления в плазме на основе SF6 и покрытия защитной
пленкой в плазме на основе СF4. Для контроля рельефа поверхности
алмазных образцов до и после обработки плазмой использована методика,
основанная на анализе частотной зависимости спектральной плотности мощности
экспериментальных изображений, полученных с помощью атомно-силовой микроскопии
на различных пространственных масштабах.

Ключевые слова: реактивное ионное травление, синтетический алмаз, атомно-силовая микроскопия,
спектральная плотность мощности шероховатости

2014, Т. 57, № 5, Стр. 4-7