ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СВЧ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ НА ОСНОВЕ ПЛЕНКИ AlN, НАНЕСЕННОЙ НА ПОДЛОЖКУ ...

Технология изготовления СВЧ пьезоэлектрических
преобразователей
на основе пленки AlN,
нанесенной на подложку из синтетического
монокристалла алмаза

Разработана технология магнетронного напыления пьезоэлектрических
пленок из нитрида алюминия и металлических электродов на подложки из
синтетического монокристалла алмаза. Для создания электродных структур с
заданной топологией применялись методы фотолитографии. Структура пленок
изучалась методами рентгеновской дифракции, атомно-силовой и растровой
электронной микроскопии.

Ключевые слова: пьезоэлектрическая пленка AlN, синтетический монокристалл алмаза, магнетронное
напыление

2014, Т. 57, № 5, Стр. 17-21