ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ И КОНЦЕНТРАЦИИ ЗАРЯЖЕННЫХ ЧАСТИЦ В ПЛАЗМЕ СМЕСЕЙ МЕТАНА С АРГОНОМ

Проведено исследование стационарных параметров и состава плазмы
смесей CH4-Ar переменного состава в условиях тлеющего разряда
постоянного тока (p=40-200 Па, i=30-70 мА).
Получены данные по приведенной напряженности электрического поля,
энергетическим распределениям и концентрациям электронов. Проведен анализ кинетики
процессов образования и гибели заряженных частиц.

Ключевые слова: метан, аргон,
константа скорости, скорость, ионизация

2014, Т. 57, № 8, Стр. 7-11