ПРИМЕНЕНИЕ АЛМАЗНЫХ НАКОНЕЧНИКОВ С МАЛЫМ УГЛОМ ЗАОСТРЕНИЯ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ МЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ И РЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ

Проведено испытание трех пирамидальных инденторов с различными
углами при вершине на возможность их использования для получения рельефа
поверхности в режиме сканирующей зондовой микроскопии и измерения твердости
методом индентирования. Применение инденторов с углом при вершине 20 градусов
позволяет получать изображение рельефа поверхности, сравнимое по качеству с
традиционными атомно-силовыми микроскопами, а также существенно уменьшить
эффект влияния подложки при измерениях механических свойств тонких покрытий.

Ключевые слова: индентирование, индентор,
алмазоподобное покрытие, сканирующая зондовая микроскопия, твердомер

2014, Т. 57, № 12, Стр. 100-102