ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ БИНАРНЫХ СМЕСЕЙ HCl+Ar, He, H2, O2 И Cl2
Проведено экспериментальное исследование и модельный анализ влияния
начального состава бинарных смесей HCl+Ar, He, H2, O2 и
Cl2 на стационарные электрофизические параметры плазмы и
концентрации заряженных частиц в условиях тлеющего разряда постоянного тока.
Получены данные по температуре газа, приведенной напряженности электрического
поля, средней энергии и концентрации электронов. Проанализированы механизмы
процессов образования и гибели электронов и ионов.
Ключевые слова: плазма, хлористый
водород, константа скорости, кинетика, концентрация