КИНЕТИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ТРАВЛЕНИЯ ПОЛИКАРБОНАТА В ПЛАЗМЕ КИСЛОРОДА И ВОЗДУХА

Исследована кинетика травления литого поликарбоната в положительном
столбе тлеющего разряда постоянного тока в потоке кислорода и воздуха в
диапазоне токов 20-110 мА и давлений 50-300 Па при разных степенях загрузки
реактора полимером. Определены скорости убыли массы, энергии активации процесса
травления, а также поверхностные энергии. Определен состав поверхностных
функциональных групп методом МНПВО, а также морфология поверхности методом АСМ.

Ключевые слова: плазма воздуха, плазма кислорода, плазмохимическое травление,
поликарбонат

2016, Т. 59, № 2, Стр. 52-56