СЕЛЕКТИВНЫЙ РОСТ ГРАФЕНОПОДОБНЫХ ПЛЕНОК НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОДЛОЖКАХ

Описан способ управления качеством углеродных
пленок, полученных методом пиролиза паров этанола на поверхности
диэлектрических подложек, предварительно засвеченных электронным лучом. Изучено
влияние дозы предварительного экспонирования подложек на степень структурного
совершенства осаждаемых пленок.

Ключевые слова: графеноподобные
пленки, газофазный синтез, электронный луч

2016, Т. 59, № 8, Стр. 51-55