ПОДАВЛЕНИЕ СИНТЕЗА АЛМАЗА НА ТОРЦЕВОЙ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖКИ В ПРОЦЕССЕ ГАЗОФАЗНОГО ОСАЖДЕНИЯ

В процессе газофазного осаждения алмаз
растет на всех поверхностях подложки, в том числе и на торцевых. Однако,
осаждение алмаза на торцевых поверхностях может быть нежелательным для
некоторых процессов и технологий. Нами предложен и реализован метод подавления
роста алмаза на торцевых поверхностях с помощью кремниевых колодцев. Определены
оптимальные геометрические размеры колодцев. Проведены исследования
структурного качества получаемых алмазных пленок.

Ключевые слова: алмаз, газофазное осаждение алмаза, подавление роста алмаза

2016, Т. 59, № 8, Стр. 64-68