НЕКОТОРЫЕ АСПЕКТЫ ПРОИЗВОДСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МИКРОСХЕМ: ЗАКОНЫ МУРА, МЕЖДУНАРОДНАЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ КАРТА ДЛЯ ПОЛУ...

DOI: 10.6060/tcct.20165911.5503
Изв. вузов. Химия и хим. технология. 2016. Т. 59. Вып. 11. С. 4-18

НЕКОТОРЫЕ аспекты ПРОИЗВОДСТВа ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МИКРОСХЕМ:
ЗАКОНЫ МУРА, МЕЖДУНАРОДНАЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ КАРТА ДЛЯ ПОЛУПРОВОД-НИКОВ И
ОСНОВНЫЕ ВЫЗОВЫ В СОВРЕМЕННОЙ ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ

В
данном кратком обзоре рассматриваются и обсуждаются некоторые главные проблемы
производства полупроводниковых микросхем, такие как 1-й и 2-й законы Мура,
международная технологическая карта для полупроводников, последние тренды
технологии производства, исследования и развитие и текущие производственные
вызовы такие как проблемы фундаментальные (Пуассоновский дробовой шум –
статистическая флюктуация- для ряда частиц типа атомов, заполняющих
элементарный безразмерный объем ), технологические проблемы –улучшенная
технология структуры и литография экстремального ультрафиолета, конструирование
оборудования для производства современных микросхем  и имеющие к этому отношение бизнес факторы
(экстремально высокая стоимость производства и возможности исследований и
развития).

Ключевые слова: полупроводники,
микросхема,
SoC, законы
Мура, международная технологическая карта для полупроводников, технология
производства микросхем, исследование и развитие полупроводников,
полупроводниковый бизнес

2016, Т. 59, № 11, Стр. 4-18