ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ РАСТВОРОВ СЕРНОЙ КИСЛОТЫ ПОСЛЕ ЭЛЕКТРОЛИЗА НА ПОВЕРХНОСТЬ КРЕМНИЯ

 

Методами УФ-спектроскопии, вольтамперометрии и химического анализа в электрохимически обработанных растворах серной кислоты обнаружен «активный кислород», который образуется в результате распада пероксосерных кислот, обладающих высокой окислительной способностью к микропримесям, находящимся на поверхности полупроводникового кремния. Проведено математическое моделирование процесса образования и расходования кислорода в процессе обработки поверхности кремния растворами серной кислоты после электролиза.

2008, Т. 51, № 12, Стр. 52-54