Блаут-Блачев А.Н.

АЛМАЗСОДЕРЖАЩИЕ ПЛЕНКИ С МИКРО- И НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРОЙ, ВЫРАЩЕННЫЕ ИЗ АКТИВИРУЕМОЙ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ

Из смеси метана и водорода химическим газофазным осаждением выращены алмазные пленки с микро- и наноструктурой. Для активации процесса использовали аномальный тлеющий разряд постоянного тока. Пленки состоят из зерен с размерами меньше 50 нм. Сопротивление пленок составляет 106–108 Ом.
Ключевые слова: алмаз, нанокристаллические алмазные плёнки, синтез, метод CVD, подложка

2010, Т. 53, № 10, Стр. 59-64
RSS-материал