Efremov, A. M., & Kwon, K.-H. (2022). СОСТАВ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКA ТРАВЛЕНИЯ SiO2 В СМЕСИ CF4/C4F8/Ar/He: ВЛИЯНИЕ СООТНОШЕНИЯ CF4/C4F8 И МОЩНОСТИ СМЕЩЕНИЯ. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 65(10), 47-53. https://doi.org/10.6060/ivkkt.20226510.6604