Efremov, Alexander M., и Kwang-Ho Kwon. 2022. «СОСТАВ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКA ТРАВЛЕНИЯ SiO2 В СМЕСИ CF4/C4F8/Ar/He: ВЛИЯНИЕ СООТНОШЕНИЯ CF4/C4F8 И МОЩНОСТИ СМЕЩЕНИЯ». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 65 (10), 47-53. https://doi.org/10.6060/ivkkt.20226510.6604.